Zariadenie na čistenie vody EDI pre polovodič-

Zariadenie na čistenie vody EDI pre polovodiče-je zvyčajne súčasťou systému Ultra Pure Water (UPW). V tomto kontexte je EDI „krok leštenia na odstránenie iónov“ po RO, ktorý vám pomôže dosiahnuť extrémne nízku vodivosť-, potom dodatočné leštenie UPW odstráni TOC, oxid kremičitý/bór, rozpustené plyny, baktérie a častice, aby sa splnili požiadavky na výrobu.

Tradičné iónomeničové{0}iničové lôžka sa v polovodičových závodoch vo veľkej miere nahrádzajú EDI kvôli niekoľkým kritickým technickým výhodám:

• Zero Ionic Leakage: Na rozdiel od štandardných živicových lôžok, ktoré môžu „unikať“ ióny, keď sa vyčerpajú, EDI poskytuje konštantný prúd vysokej{0}}čistoty, pretože živica sa neustále regeneruje elektrickým poľom.
• Bezchemické -prostredie: Polovodiče vyžadujú neuveriteľne stabilné prostredie. EDI používa elektrickú energiu namiesto nebezpečných kyselín a žieravín, čím sa eliminuje riziko chemických výparov alebo náhodného rozliatia, ktoré by mohlo kontaminovať vzduch „čistej miestnosti“.
• Nízke odstraňovanie TOC a oxidu kremičitého: EDI je vysoko účinné pri odstraňovaní slabo ionizovaných druhov, ako je oxid kremičitý ($SiO_2$) a bór, ktoré sa ťažko odstraňujú, ale sú zničujúce pre výnosy polovodičov.
• Modulárna škálovateľnosť: Polovodičové "Fab" sú masívne. Systémy EDI sú modulárne, čo umožňuje inžinierom zvýšiť alebo znížiť produkciu vody tak, aby zodpovedala počtu používaných litografických alebo leptacích nástrojov.

V polovodičovom zariadení je závod EDI „srdcom“ leštiacej slučky a nachádza sa medzi fázou reverznej osmózy (RO) a konečným -bodom{1}} použitia filtrov:

• Primárna úprava (Double{0}}Pass RO): Odstraňuje 99 % hromadných kontaminantov. Vysokokvalitný-permeát z druhého RO priechodu slúži ako napájacia voda pre EDI.
• Odplynenie: Odstraňuje rozpustené $O_2$ a $CO_2$. To je kritické, pretože rozpustené plyny môžu spôsobiť bubliny na povrchu plátku a narušiť účinnosť EDI.
• Modul EDI: Voda je vyleštená na 15–18 M$\\Omega$·cm. Elektrické pole zaisťuje, že iónomeničová-živica zostáva v trvalo „nabitom“ stave.
• UV a ultrafiltrácia (UF): Konečné „leštenie“ pri vlnových dĺžkach 18,5 nm alebo 254 nm na zničenie všetkých stopových organických látok (TOC) a UF membrán na zachytenie všetkých zostávajúcich sub-mikrónových častíc.

• Vstup do EDI musí byť veľmi čistý: nízka tvrdosť, nízke riziko tvorby vodného kameňa oxidu kremičitého, nízky obsah oxidantov (chlór), nízky SDI.
• Odplynenie (odstránenie CO₂) často zlepšuje odpor a znižuje zaťaženie EDI.
• Materiály a hygiena: UPW slučky zvyčajne používajú vysoko{0}}čisté materiály (napr. PVDF/PFA/EP-grade SS v závislosti od špecifikácií) a konštantnú recirkuláciu, aby sa zabránilo kontaminácii.
• Monitorovanie: rezistivita, TOC, oxid kremičitý, DO, počty častíc, prietok/tlak, teplota-plus alarmy/trendy.

Ak mi poviete tieto 4 položky, môžem vám navrhnúť vhodné zariadenie na čistenie vody EDI pre polo-vodiča:

• Požadovaný prietok UPW (m³/h alebo m³/deň)
• Zdroj surovej vody + TDS/oxid kremičitý (ak je známy)
• Použitie: fab UPW (proces) vs utility (práčka/chladenie)
• Akékoľvek cieľové špecifikácie, ktoré musíte splniť (odpor/TOC/oxid kremičitý/častice)

Populárne Tagy: edi závod na čistenie vody pre polo-vodič, Čína edi závod na čistenie vody pre polo{1}}výrobcov, dodávateľov, továreň, stroj na vodu edi, vodný systém edi, stroj na úpravu vody edi, systém úpravy vody edi, systém elektrodeionizácie, Systémy na úpravu vody s vysokou čistotou pre farmáciu